Reactive ion etcher
- Buyer
- Max-Planck-Institut für Struktur und Dynamik der Materie
- Published
- March 25, 2026
Description
Herstellung, Vertrieb und Service von Plasmaätzanlagen (RIE/ICP-RIE) für die Mikro- und Nanofabrikation. Genaueres entnehmen Sie bitte aus dem Lastenheft.
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