Back to search
TEDNotice 540211-2025

Cathodoluminescentie (CL) Tool

Buyer
Imec EU Pilot line NV
Published
August 21, 2025

Description

Cathodoluminescentie (CL) Tool: • Compatibel met cleanroom en EFEM (Equipment Front End Module) voor automatische belading van 200 en 300 mm substraten • Snelle acquisitie van CL- en scanning-elektronenmicroscopie (SEM)-beelden op egale en gepatroneerde wafers • Detectiebereik van golflengten tussen 800 – 1700 nm • Panchromatische detector voor snelle defectmapping • Spectrumacquisitie (≥250 nm bereik met één scan)

Open original notice

Get tenders like this in one daily alert

Use this notice as context when Tenqual drafts your search scope and fit criteria.

Create free alert
Cathodoluminescentie (CL) Tool tender | Tenqual