Un système de dépôt par sputtering confocal dédié au dépôt de films minces supraconducteurs de haute qualité

Description

L'EPFL prévoit d'acquérir un système de dépôt par sputtering confocal dédié au dépôt de films minces supraconducteurs de haute qualité. L'outil sera installé dans la plateforme de salle blanche du Centre de Micro et Nanotechnologie (EPFL CMi). L'équipement sera dédié à la recherche à la pointe de la technologie sur des films minces supraconducteurs à haute inductance cinétique, notamment NbN, NbTiN, TiN et TaN. En ce qui concerne les besoins de l'EPFL et les objectifs scientifiques spécifiques de son laboratoire de Circuits Quantiques Hybrides, l'accent sera mis sur les domaines de recherche suivants: • dispositifs supraconducteurs conçus pour des applications quantiques, tels que des dispositifs optomécaniques et des systèmes d'électrodynamique quantique en circuit.