Lieferung, Montage, Inbetriebnahme und Einweisung eines Multifunktionalen Hochleistungs-Ionenstrahlätz- und -beschichtungssystems

Description

Die Leibniz Universität Hannover, das Institut für Mikroproduktionstechnik, beabsichtigt den Erwerb eines multifunktionales Ionenstrahlsystem, das sowohl (reaktive) Ionenstrahlätzvorgänge ((R)IBE - (Reactive) Ion Beam Etching) als auch (reaktive) Ionenstrahlbeschichtungsvorgänge ((R)IBS - (Reactive) Ion Beam Sputtering) erlaubt. Zur Planarisierung vorangegangener Beschichtungen soll das Ion Beam Figuring/Trimming (IBF/IBT) eingesetzt werden können.