IMS Chips - Vergabe einer Belackungs- und Entwicklungsanlage für Wafer
- Buyer
- Institut für Mikroelektronik Stuttgart Stiftung des bürgerlichen Rechts
- Published
- May 29, 2026
- Deadline
- June 30, 2026
Description
Gegenstand des vorliegenden Vergabeverfahrens ist die Belackungs-/Entwicklungsanlage zur Prozessierung von 150mm und 200mm Wafern mit wechseln-den Fotolacken für die iLine- und E-Beam-Lithografie. Optional ist ein Vollwartungsvertrag mit Uptime-Garantie anzubieten. Die maximale Lieferzeit beträgt 18 Monate nach Zuschlag.
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