Fourniture d’un équipement hybride de profilométrie automatique de type « White Light Interferometry » (WLI)

Description

Pour ses activités de recherche, qui visent à développer les technologies FDSOI 10nm et au-delà, le CEA-Leti souhaite faire l’acquisition pour sa salle blanche d’un profilomètre automatique hybride pour mesurer une large gamme de hauteur de marches et de rugosités de surface sur des dispositifs manufacturés au CEA-Leti. L’équipement intègrera la technique d’Interférométrie à Lumière blanche sur Champ complet (Full-field White Light Interferometry - WLI) afin de mesurer des larges surfaces (quelques cm²) combinée à un Microscope à Force Atomique (AFM) pour mesurer des zones de quelques µm² avec une plus haute résolution. Les deux modules de mesure (WLI et AFM) doivent pouvoir être utilisées séparément ou conjointement grâce à un software. L’équipement doit pouvoir effectuer des mesures complètement automatisées sur des wafers 300 mm, tout en ayant la capacité à charger des wafers de diamètres inférieurs et des échantillons manuellement pour la calibration ou les mesures SPC. Cet équipement travaillera dans un environnement salle blanche de classe ISO 4. Le marché envisagé comprend une option à chiffrage obligatoire et quatre options à chiffrage facultatif : - Option avec chiffrage obligatoire : Option 1 (prestation optionnelle) : Formation maintenance niveau 1 / - Option avec chiffrage facultative : Option 2 (fourniture optionnelle) : Transformateur électrique / Option 3 (prestation optionnelle) : Formation maintenance avancée / Option 4 (prestation optionnelle) : Extension de garantie d'un an supplémentaire