Jouvence d’un système de traitement thermique et d’oxydation de silicium pour le Centre de Nanosciences et de Nanotechnologies (C2N) du CNRS

Description

Cette opération vise à moderniser le système de contrôle-commande des quatre tubes thermiques existants, tout en maintenant les performances thermiques, la fiabilité opérationnelle et la sécurité du procédé. La jouvence portera principalement sur le remplacement des éléments de pilotage devenus obsolètes (racks électriques, automatismes, supervision) par un système moderne, modulaire, et adapté aux exigences des environnements propres. L’architecture proposée devra permettre une gestion indépendante de chaque tube, une régulation thermique précise, ainsi qu’un suivi en temps réel des traitements. La description détaillée des prestations et de leurs spécifications techniques et fonctionnelles figure dans le cahier des clauses techniques particulières (CCTP).