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TEDNotice 574080-2025

Maskenloses Lithographiesystem

Buyer
Universität Paderborn
Published
September 3, 2025

Description

Ausgeschrieben wird ein maskenloses Lithographiesystem, welches eine flexible Möglichkeit zur Mikrostrukturierung von verschiedenen Oberflächen bieten soll. Das ausgeschriebene System soll zukünftig das Kernstück der waferprozessierenden Infrastruktur an der Universität Paderborn darstellen.

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Maskenloses Lithographiesystem tender | Tenqual