Fourniture d'un équipement de nettoyage post gravure pour les applications BEOL

Description

Pour ses activités de recherche, qui visent à développer les technologies FDSOI 10 nm et au-delà, le CEA-Leti souhaite faire l’acquisition d’un équipement de nettoyage post gravure pour sa salle-blanche. L’équipement est destiné à traiter des wafers de 300mm en procédant à différents traitements chimiques pour applications BEOL et devra être totalement automatisé. Le marché envisagé comprend les options suivantes : - Options avec chiffrage obligatoire : Option 1 : Capacité à effectuer une purge N2 du FOUP - Options avec chiffrage facultatif : Option 2 : Ajout adapté de H2O2 pendant le procédé de retrait du HardMask Option 3 : Assistance mécanique aux procédés chimiques Option 4 : Formation à la Maintenance 1er niveau Option 5 : Formation à la Maintenance avancée Option 6 : Fourniture d’un échangeur de chaleur et d’un refroidisseur Option 7 : Fourniture d’un transformateur de puissance Option 8 : Le transport, assurance comprise, selon les conditions DAP CEA Grenoble (Convention Incoterms ICC 2020)