Upgrade of a 200 mm WxZ Tungsten CVD Chamber to WxZ Sprint Configuration
Purchaser
IHP GmbH - Leibniz-Institut für innovative Mikroelektronik
Country
Germany
Notice published
5 Jun 2026
Tenqual indexed
5 Jun 2026
Closing date
26 Jun 2026
Source ID
Docs found
—
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Tender summary
Gegenstand der Beschaffung ist das Upgrade eines bestehenden 200 mm Wolfram Chemical Vapor Deposition (CVD)-Systems des Herstellers Applied Materials Inc. (AMAT) auf eine WxZ Sprint Konfiguration. Hierzu sind insbesondere Anpassungen am Gasverteilungssystem zur Realisierung eines gepulsten Wolfram-Abscheidungsprozesses sowie die Integration zusätzlicher Hardware zur Ermöglichung von Depositionsdrücken bis 300 Torr erforderlich. Die Leistungen umfassen die Planung, Lieferung, Integration, Inbetriebnahme und Qualifizierung der erforderlichen Hard- und Softwareanpassungen am bestehenden Anlagensystem.
What to check before bidding
- Issued by IHP GmbH - Leibniz-Institut für innovative Mikroelektronik.
- Located in Germany.
- Source notice 386607-2026 on TED.
- Notice published 5 Jun 2026; Tenqual indexed it 5 Jun 2026.
- Deadline listed as 26 Jun 2026.
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