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TED

maskenloses UV-Direktlithographie-System

Purchaser

Friedrich-Schiller-Universität Jena

Country

Germany

Notice published

22 May 2026

Tenqual indexed

22 May 2026

Closing date

25 Jun 2026

Source ID

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Tender summary

Beschafft werden soll ein kompaktes, für den Reinraumeinsatz geeignetes Tischsystem zur maskenlo-sen UV-Direktlithographie für Forschung, Entwicklung und Kleinserien-Prototyping. Das System muss sowohl eine rasterbasierte Vollflächenbelichtung als auch einen zusätzlichen vektorbasierten Direkt-belichtungsmodus bereitstellen, um hochauflösende Mikro- und Nanostrukturen, Ausbesserungen bestehender Strukturen sowie konturtreue Linienbelichtungen auf unterschiedlichsten Substraten zu ermöglichen. Daraus ergeben sich folgende Mindestanforderungen: siehe Anlage 2

What to check before bidding

  • Issued by Friedrich-Schiller-Universität Jena.
  • Located in Germany.
  • Source notice 351798-2026 on TED.
  • Notice published 22 May 2026; Tenqual indexed it 22 May 2026.
  • Deadline listed as 25 Jun 2026.
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