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Lieferung, Montage, Inbetriebnahme und Einweisung eines Multifunktionalen Hochleistungs-Ionenstrahlätz- und -beschichtungssystems

Leibniz Universität Hannover

Purchaser

Leibniz Universität Hannover

Country

Published

17 Jul 2025

Closing date

7 Aug 2025

Source ID

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Summary

Die Leibniz Universität Hannover, das Institut für Mikroproduktionstechnik, beabsichtigt den Erwerb eines multifunktionales Ionenstrahlsystem, das sowohl (reaktive) Ionenstrahlätzvorgänge ((R)IBE - (Reactive) Ion Beam Etching) als auch (reaktive) Ionenstrahlbeschichtungsvorgänge ((R)IBS - (Reactive) Ion Beam Sputtering) erlaubt. Zur Planarisierung vorangegangener Beschichtungen soll das Ion Beam Figuring/Trimming (IBF/IBT) eingesetzt werden können.

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