Prestation de jouvence du système de pulvérisation cathodique magnétron de marque EREMAP
Purchaser
Université d'Aix-Marseille
Country
France
Notice published
30 Oct 2025
Tenqual indexed
1 Nov 2025
Closing date
Not listed
Source ID
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Tender summary
Le présent marché consiste à rénover un bâti de pulvérisation pour le dépôt de couches minces sous vide par pulvérisation cathodique magnétron acheté par Aix-Marseille Université en 2003. L'équipement est composé d'une chambre et son châssis ainsi qu'une tour de commande. Toute la partie de puissance, de contrôle et de supervision se trouve dans la tour de commande. La panoplie de refroidissement et tous les sous-ensembles (dépôt, contrôle de pression, pompage…) sont intégrés à l'ensemble chambre châssis. Les pompes primaires sont indépendantes. La chambre est équipée de 3 sources confocales et permet de réaliser des co-dépôts en utilisant ces sources simultanément. De plus, la rotation du porte substrat assure une bonne homogénéité des dépôts (5% sur un substrat de 100mm). Ce porte substrat est chauffant avec polarisation RF. La description des prestations est décrite dans le CCTP.
What to check before bidding
- Issued by Université d'Aix-Marseille.
- Located in France.
- Source notice 718791-2025 on TED.
- Notice published 30 Oct 2025; Tenqual indexed it 1 Nov 2025.
- No closing date is listed yet.
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